“听你这么说,是对集成电路领域是做足了充分准备的……”
“还以为你只是一时脑热,满腔热血的进入这个领域。”
王琪海院士听李浩说了这么多,知道这个年轻人并非一时脑热就去研究光刻机。
从技术储备方面来看,这个年轻人的团队在下游芯片设计,甚至芯片材料方面都有做技术储备。
“你准备如何解决光源的问题?”
王琪海院士又向李浩介绍长光所以及冰城工业大学,目前在极紫外光源方面的研究成果。
“冰城工业大学在国家012号课题上,进行关于光学领域的研究……极紫外光的研究只是其中一个分类。”
“这个课题在去年已经结束了……到了后期,相关的研究已经没有太大的进展,研发投入和收获不成正比。”
“冰城工业大学的euv光源技术,是基于xe气毛细管放电技术。”
“属于早期一种dpp光源技术,达不到制作euv光刻机的要求!”
“长光所在xe等离子体euv光源研究上,主要研究方向也是各种短波长激光器,并非在euv光源上。”
“国内各大高校和研究所,在euv光源的研究上,大概相当于国外1998年的水平!”
王琪海院士可是主管长光所,如今也是冰城工业大学的博导,对这两方面都十分了解。
李浩表示:“在浩鼎实验室,已经制作出一台频率为1000khz的等离子体极紫外光原机的设备……”
“收集系统采用wolte——x型反射镜结构,以掠入射方式,将管内发出的13.5nm的极紫外光源聚焦到if点……在重复频率为1khz时,2π立体角内13.5nm辐射光功率约为1.4w,经估算if点的功率约100mw。”
“目前能做到13.5nm的放电xe等离子体极紫外光源!”
“很了不起!”王琪海院士毫不吝啬地称赞,他想了想,说到:“这相当于国外零几年的技术吧!”
“从duv光源到euv光源,国外光刻机巨头被卡了那么多年……我们现在不需要摸着石头过河,只需要摸着他们过河就行!”
李浩这边在光源方面,能有这样的研究进展,确实投入很大的精力。
连光源设备的样机都造出来了!
加上李浩之前所说的各种技术储备。
浩鼎实验室在光刻机领域的研究,还真是不可小觑。
王琪海院士觉得,怎么都要帮这个年轻人一把。
这个年轻人怀着满腔热血接手了鸿芯,投入了大量的资金和精力,要研究光刻机和芯片。
还取得了不少研究成果。
这必须支持!
说不定以后在光刻机和芯片领域,能散发出奇迹呢?
“这样,我帮你联系冰城工业大学012号课题组长——徐教授,以及曹校长。”
“长光所,那边我也帮你打个招呼,浩鼎实验室和那边也有往来。”
“你有什么想法、要人、要技术授权、还是要合作,你跟他们说!”
王琪海院士目前已经从长光所退下来。
他在冰城工业大学也只是航天动力技术部博导。
纯属闲着没事挂个名,带几个学生而已。
和光学那边的研究项目早已没有什么关系。
他只能说帮李浩说和说和。
最后能否达成合作?
王琪海院士也不能左右!
李浩在研究所停留了几天,也已经没有他什么事情。
电磁弹射技术的研究,基本进入平稳研究阶段。
就是不断的做升级、优化、改进。
没有太多技术方面的难题。
李浩可以自己离开了。
他向马院士、王院士、以及兵部学校的领导说了一声,让高云他们好好在这里加油。
高云他们几个在这里很习惯,像是打了鸡血一样,颇有一些乐不思蜀的意思。
根本不用李浩担心。
……
通衢市机场。
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第111章 牵线搭桥,微服私访?[1/2页]